Présentation de l'Unité de Recherche
Institut d'Électronique de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Adresse : Avenue Henri Poincaré, cité scientifique CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
Site Web :
Responsable : Thierry MELIN
Tutelles : Universitéde Lille, CNRS, Université Polytechnique Hauts de France, Centrale Lille, Yncréa Hauts-de-France
Établissement de rattachement principal Université de Lille
Effectifs au 1/1/2020 : 235 permanents (48 chercheurs CNRS, 121 enseignants-chercheurs, 65 personnes admin. et tech.) et 253 non permanents (144 doctorants, 34 post doctorants, 5 prof inv., 30 masters, 30 stagiaires)
Présentation générale des activités de recherche de l’UR :
La stratégie scientifique de l'IEMN s’appuie sur une organisation en groupes dont la dimension favorise les recherches sur des thèmes d’excellence tout en préservant un espace pour l’émergence d’activités résolument nouvelles mises en lumière par les 5 axes scientifiques (Matériaux et nanostructures, Micro et nano-systèmes, Micro nano et optoélectronique, Circuits et systèmes de communication, Acoustique). La politique scientifique consiste non seulement à contribuer à l’approfondissement des connaissances mais également à multiplier les retombées économiques au plan régional, national et européen à travers de nombreuses collaborations industrielles. Le laboratoire dispose de moyens exceptionnels en termes d’infrastructures et de plateformes technologiques qui viennent en soutien des chercheurs (Centrale de micro nano fabrication, Centrale de caractérisation de dispositifs très haute fréquence et MEMS, Plateforme champ proche, Plateforme télécommunication). Membre du réseau pour la Recherche des Technologies de Base (RENATECH), l’IEMN met à la disposition de la communauté académique et industrielle un plateau technique qui le situe au meilleur niveau européen.
Équipes de Recherche de l’Unité de Recherche impliquée dans la SFR : (3 groupes)
L'activité du groupe NAM6 concernant la FML se concentre sur la nano-indentation. Depuis 2006, un équipement de type MTS est installé en salle à empoussièrement contrôlé. Il est doté de plusieurs options adaptées à la nature des matériaux généralement produits au laboratoire. Il s'agit notamment de films minces de semi-conducteurs, de matériaux actifs tels que les piézo-électriques ainsi que des polymères de différentes natures.
Une partie des activités du groupe de recherche Optoélectronique est dédiée à l'étude de nouveaux matériaux inorganiques pour application au photovoltaïque en couches minces. Déposés sur un substrat porteur (cellules simples) ou sur une autre cellule (cellules tandem), les propriétés mécaniques de ces films minces sont déterminantes pour le développement d'une filière technologique durable car elles interviennent directement dans l'estimation de la durée de vie des composants notamment via les délaminations potentielles entre les différents films minces constitutifs des cellules.
L'une des activités du groupe MITEC concerne la réalisation de dispositifs thermoélectriques planaires réalisés en technologie silicium compatible CMOS. La nanostructuration du silicium poreux présente un intérêt majeur dans la fabrication de ces microsystèmes thermiques. Cependant, celle-ci fragilise considérablement la tenue mécanique des couches réalisées. L'une des solutions pour consolider les structures est l'oxydation contrôlée des nanocristallites. Les collaborations mises en œuvre dans le cadre de la fédération doivent permettre de déterminer les propriétés mécaniques par indentation instrumentée à température ambiante et à chaud puis d’estimer la résistance à la fissuration par suivi et observation in situ sous microscopie électronique des fissures générées au cours de l’essai d’indentation.
Principales collaborations
Régionales UMET, Gemtex, CRIStAL, HEI, LAMH, MSMP, LML-LamCube, ESTIT
Nationales Labo DTI Reims, LITEN, GREMI, LAAS, Univ Bourgogne, femto-st, Alpha MOS, LETI, CRHEA UPR CNRS Sofia Antipolis, Institut Jean Lamour (Nancy), CEA-INES (Chambéry), Institut des Matériaux Jean Rouxel (Nantes)
Internationales FhG Forschungsgruppe MESYS, Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Université de Tunis El Manar, Université Tlemcen (Algérie), Université Louvain La neuve (Belgique), Université de Gand (Belgique)
Industrielles SEB, TGCP, Captec, Société KSB, Groupe ZENDHER, CROSSLUX, EDF-Photowatt, IRLYNX, Société AKANTIS, Société RAYFLECTIS
Personnel de l’Unité de Recherche ou de l’équipe associé à la SFR : 2 DR, 3 MCF, 1 CR, 2 doc, 1 post-doc